Steuersystem für einen Zweikammer-Gasentladungslaser

EP1540783 Art B1 18. Januar 2017

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1540783
Aktenzeichen: EP03772177
Anmeldetag: 30. Juli 2003
Veröffentlichung: 18. Januar 2017
Erteilung: 18. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/225H01S3/134H01S3/036H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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