Verwendung von Ozonwasser Beim Reinigen von Halbleitersubstrat

EP1541667 Art B1 14. Mai 2008

Anmelder: SUMCO CORPORATION, CHLORINE ENGINEERS CORP., Ltd., Echo Giken Co., Ltd., Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation, Puretron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1541667
Aktenzeichen: EP03788086
Anmeldetag: 11. August 2003
Veröffentlichung: 14. Mai 2008
Erteilung: 14. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C11D7/26H01L21/304C11D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SUMCO CORPORATION
CHLORINE ENGINEERS CORP., Ltd.
Echo Giken Co., Ltd.
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation
Puretron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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