Verfahren zur Herstellung von Silicium-Einkristall

EP1541721 Art B1 7. März 2012

Anmelder: SUMCO CORPORATION, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1541721
Aktenzeichen
EP03741226
Anmeldetag
7. Juli 2003
Veröffentlichung
7. März 2012
Erteilung
7. März 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06C30B15/26H01L21/208
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
SUMCO CORPORATION
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation
Land
🇯🇵 Japan

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