Verwendung von Beschichtungsbildemittel zur Verringerung der Musterabmessung und Verfahren zur Bildung eines Feinen Musters damit

EP1542079 Art A1 15. Juni 2005

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1542079
Aktenzeichen: EP03738530
Anmeldetag: 26. Juni 2003
Veröffentlichung: 15. Juni 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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