Cvd-Vorrichtung mit Mitteln zum Reinigen mit Fluorgas und Verfahren zur Reinigung einer Cvd-Vorrichtung mit Fluorgas
EP1542264
Art A1
15. Juni 2005
Anmelder: RESEARCH INSTITUTE OF INNOVATIVE TECHNOLOGY FOR THE EARTH, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Research Institute of Innovative Technology for the Earth 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1542264
- Aktenzeichen
- EP03712689
- Anmeldetag
- 13. März 2003
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- RESEARCH INSTITUTE OF INNOVATIVE TECHNOLOGY FOR THE EARTH
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Research Institute of Innovative Technology for the Earth - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
3.785 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Jackson, Robert Patrick
London, Großbritannien
762
Patente gesamt
34
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte