Verfahren zum Trockenätzen und Prozess zur Herstellung von Perfluor-2-Pentyn

EP1542268 Art A1 15. Juni 2005

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1542268
Aktenzeichen
EP03764209
Anmeldetag
16. Juli 2003
Veröffentlichung
15. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311H01L21/3213C07C21/22C07C17/25C07C17/263C07C21/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Zeon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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