Dampfabscheidung von Wolframnitrid oder Molybdännitrid
EP1543177
Art A1
22. Juni 2005
Anmelder: President and Fellows of Harvard College, PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1543177
- Aktenzeichen
- EP03764377
- Anmeldetag
- 9. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/34C07F11/00H01L21/768H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- President and Fellows of Harvard College
PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Harvard University
US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.
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Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
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