Verfahren zur Herstellung von Sonden für Atomkraftmikroskopie
EP1544865
Art B1
14. Februar 2007
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1544865
- Aktenzeichen
- EP04447272
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 14. Februar 2007
- Erteilung
- 14. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G12B21/02G01N27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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