Rotations-Siliziumwafer-Reinigungsvorrichtung
EP1544902
Art A1
22. Juni 2005
Anmelder: Fujikin Incorporated, Ohmi, Tadahiro, PRE-TECH CO., LTD 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1544902
- Aktenzeichen
- EP03808884
- Anmeldetag
- 11. September 2003
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujikin Incorporated
Ohmi, Tadahiro
PRE-TECH CO., LTD - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
452 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Hector, Annabel Mary
London, Großbritannien
246
Patente gesamt
28
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Faulkner, Thomas John
NoneLondon