Sondenverfahren, Sondierer und Elektrodenverringerungs/-Plasmaätzprozessmechanismus
EP1544909
Art A1
22. Juni 2005
Anmelder: OCTEC INC., TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1544909
- Aktenzeichen
- EP03794165
- Anmeldetag
- 1. September 2003
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01R31/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- OCTEC INC.
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gleiss, Alf-Olav
Stuttgart, Deutschland
424
Patente gesamt
31
Fachgebiete
15
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Schwerpunkte