Wenig Silizium Abgebender Resist für die Zweischichtlithographie

EP1546813 Art A1 29. Juni 2005

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1546813
Aktenzeichen
EP03815294
Anmeldetag
11. September 2003
Veröffentlichung
29. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/38G03F7/075G03F7/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
International Business Machines Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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