Vefahren und Vorrichtung zum Steuern und Überwachen eines Prozesses zur Herstellung von Halbleiterbausteinen

EP1546827 Art A1 29. Juni 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1546827
Aktenzeichen: EP03752579
Anmeldetag: 25. September 2003
Veröffentlichung: 29. Juni 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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