Verfahren, System und Medium zur Handhabung nicht Repräsentativer Metrologiedaten mit einem Erweiterten Prozesssteuersystem
EP1546828
Art A1
29. Juni 2005
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1546828
- Aktenzeichen
- EP03767017
- Anmeldetag
- 1. August 2003
- Veröffentlichung
- 29. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B23/02G05B15/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Blatchford, William Michael
London, Großbritannien
143
Patente gesamt
21
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