Einrichtung mit Folienkorrektur von Elektronenoptischen Aberrationen bei Niedriger Energie

EP1547119 Art A1 29. Juni 2005

Anmelder: Technische Universiteit Delft, Stichting Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM), TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT, Stichting Fundementeel Onderzoek der Materie (FOM) 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1547119
Aktenzeichen
EP03791500
Anmeldetag
1. September 2003
Veröffentlichung
29. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153H01J37/05H01J37/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Technische Universiteit Delft
Stichting Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM)
TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT
Stichting Fundementeel Onderzoek der Materie (FOM)
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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