Verfahren zur Herstellung einer Drahtförmigen Nanostruktur aus einer Halbleitenden Schicht

EP1547136 Art B1 30. Dezember 2009

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1547136
Aktenzeichen
EP03780284
Anmeldetag
2. Oktober 2003
Veröffentlichung
30. Dezember 2009
Erteilung
30. Dezember 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/321H01L23/525
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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