Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitridfilmen und Siliziumoxinitridfilmen durch Thermische Chemische Aufdampfung
EP1547138
Art B1
22. August 2007
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1547138
- Aktenzeichen
- EP03772312
- Anmeldetag
- 23. September 2003
- Veröffentlichung
- 22. August 2007
- Erteilung
- 22. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/318C23C16/34C23C16/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
3.731 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Vesin, Jacques
Paris, Frankreich
81
Patente gesamt
16
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte