Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten
EP1548147
Art A1
29. Juni 2005
Anmelder: Seiko Epson Corporation, SEIKO EPSON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1548147
- Aktenzeichen
- EP04030291
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 29. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C4/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Seiko Epson Corporation
SEIKO EPSON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Epson
Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München