Eisensilicid-Sputtertarget und Herstellungsverfahren dafür

EP1548148 Art B1 8. Juli 2009

Anmelder: Nippon Mining & Metals Co., Ltd., Nikko Materials Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1548148
Aktenzeichen
EP03795274
Anmeldetag
1. September 2003
Veröffentlichung
8. Juli 2009
Erteilung
8. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C14/35C04B35/58C04B35/645
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Nikko Materials Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nippon Mining & Metals

Nippon Mining & Metals war ein japanisches Unternehmen für Metallverarbeitung und Halbleitermaterialien, heute Teil von JX Nippon Mining & Metals. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Fertigungs- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2010 und betreffen unter anderem Kupferfolienverbundstoffe.

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