Verfahren zur Herstellung von Dünnem Film, Vorrichtung zur Herstellung von Dünnem Film und Verfahren zur Berwachung der Bildung von Dünnem Film

EP1548149 Art B1 11. September 2013

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1548149
Aktenzeichen: EP03753955
Anmeldetag: 26. September 2003
Veröffentlichung: 11. September 2013
Erteilung: 11. September 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toppan Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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