Plasmaverarbeitungssystem und dessen Substratverarbeitungsverfahren, Plasmaunterst Tztes Cvd-System und dessen Filmabscheidungsverfahren

EP1548150 Art A1 29. Juni 2005

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1548150
Aktenzeichen: EP03748631
Anmeldetag: 1. Oktober 2003
Veröffentlichung: 29. Juni 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/509H01L21/205H05H1/46B01J19/08H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Heavy Industries
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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