Verfahren zur Herstellung von Dünnem Film und Vorrichtung dafür
EP1548151
Art B1
23. April 2014
Anmelder: IHI Corporation, Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1548151
- Aktenzeichen
- EP03751327
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 23. April 2014
- Erteilung
- 23. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/509H01L21/205H01L31/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IHI Corporation
Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
IHI Corporation
Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.
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Vertreten von
Lamb, Martin John Carstairs
London, Großbritannien
1.633
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