Lithographischer Apparat und Methode zur Messung der Polarisation

EP1548506 Art B1 6. August 2008

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1548506
Aktenzeichen
EP04257919
Anmeldetag
17. Dezember 2004
Veröffentlichung
6. August 2008
Erteilung
6. August 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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