Verfahren zur Herstellung von Sonden für Atomkraftmikroskopie
EP1548748
Art A1
29. Juni 2005
Anmelder: IMEC, Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1548748
- Aktenzeichen
- EP03447294
- Anmeldetag
- 17. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 29. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G12B21/02G01N27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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