Mikrostrukturierter Dünnfilmresonator

EP1548768 Art B1 22. Februar 2012

Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1548768
Aktenzeichen
EP04078526
Anmeldetag
24. Dezember 2004
Veröffentlichung
22. Februar 2012
Erteilung
22. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H03H3/04H01G5/14H03H9/02H03H9/17H03H3/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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