Optischer Integrator, Optische Beleuchtungseinrichtung, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP1548803 Art A1 29. Juni 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1548803
Aktenzeichen: EP03764119
Anmeldetag: 17. Juni 2003
Veröffentlichung: 29. Juni 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B13/00G02B19/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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