Verfahren zur Abscheidung von einem Gruppe III-Nitrid-Material auf ein Siliziumsubstrat und entsprechende Vorrichtung
EP1548807
Art B1
22. August 2018
Anmelder: IMEC VZW, IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1548807
- Aktenzeichen
- EP04447292
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 22. August 2018
- Erteilung
- 22. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20C30B29/40C30B25/18
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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