Hochfrequenzplasmagenerator und Hochfrequenzplasmaerzeugungsverfahren

EP1548808 Art A1 29. Juni 2005

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1548808
Aktenzeichen: EP03748630
Anmeldetag: 1. Oktober 2003
Veröffentlichung: 29. Juni 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Heavy Industries
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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