Präzisionsverarbeitungsstufenvorrichtung
EP1548819
Art A1
29. Juni 2005
Anmelder: Tamura Corporation, Japan Science and Technology Agency 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1548819
- Aktenzeichen
- EP03771421
- Anmeldetag
- 30. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 29. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H02K41/03G12B5/00B23Q1/44B23Q5/28
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Tamura Corporation
Japan Science and Technology Agency - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Japan Science and Technology Agency
Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.
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Whalley, Kevin
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