System und Verfahren zur Ansteuerung eines Körpers mittels eines Piezoaktors
EP1548855
Art A3
6. Juli 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1548855
- Aktenzeichen
- EP04078341
- Anmeldetag
- 9. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 6. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L41/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Maas, Abraham Johannes
Veldhoven, Niederlande
118
Patente gesamt
10
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Mertens, Hans Victor
NoneAmsterdam