System und Verfahren zur Ansteuerung eines Körpers mittels eines Piezoaktors

EP1548855 Art A3 6. Juli 2005

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1548855
Aktenzeichen
EP04078341
Anmeldetag
9. Dezember 2004
Veröffentlichung
6. Juli 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L41/08G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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