Verfahren zur Schnellaktivierung oder Vorbehandlung von Por Sen Gasreinigungssubstraten
EP1549414
Art A1
6. Juli 2005
Anmelder: Entegris, Inc., Spiegelman, Jeffrey, J, Alvarez, Daniel, Jr., Cook, Joshua T., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1549414
- Aktenzeichen
- EP03739089
- Anmeldetag
- 11. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 6. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/04B01J20/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Spiegelman, Jeffrey, J
Alvarez, Daniel, Jr.
Cook, Joshua T.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kirkham, Nicholas Andrew
Sevenoaks, Großbritannien
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