Verfahren zur Zurückgewinnung von Verbrauchten Stoffen eines Sputter-Targets

EP1549779 Art A2 6. Juli 2005

Anmelder: CABOT CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1549779
Aktenzeichen: EP03774523
Anmeldetag: 2. Oktober 2003
Veröffentlichung: 6. Juli 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C01B6/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CABOT CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot

Cabot ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien, unter anderem Industrieruß und Silica-Produkten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Kunststoff- und Halbleitertechnik, ergänzt durch anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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