193NM Resist
EP1550003
Art A1
6. Juli 2005
Anmelder: International Business Machines Corporation, Compagnie IBM France, JSR Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1550003
- Aktenzeichen
- EP03757891
- Anmeldetag
- 28. August 2003
- Veröffentlichung
- 6. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- International Business Machines Corporation
Compagnie IBM France
JSR Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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🇯🇵
JSR Corporation
JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.
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