Verfahren und Vorrichtung zum Anwenden Differentieller Entfernungsraten auf eine Oberflûche eines Substrats
EP1550152
Art A1
6. Juli 2005
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1550152
- Aktenzeichen
- EP03761990
- Anmeldetag
- 23. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 6. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302B24B1/00B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
795
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte