Verfahren zum Nassreinigen von einer Oberfläche, insbesondere von einem Material wie Silizium-Germanium

EP1550517 Art B1 10. September 2008

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1550517
Aktenzeichen
EP04107061
Anmeldetag
30. Dezember 2004
Veröffentlichung
10. September 2008
Erteilung
10. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B08B3/08H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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