Zusammensetzung und Verfahren zum Nassabziehen von Antireflexivem Opfermaterial

EP1551936 Art A1 13. Juli 2005

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1551936
Aktenzeichen
EP03765600
Anmeldetag
16. Juli 2003
Veröffentlichung
13. Juli 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/311G03F7/42C09K13/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Hyden, Martin Douglas Clamart, Frankreich
672
Patente gesamt
31
Fachgebiete
33
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Bergbau & Bohrtechnik Medizintechnik & Gesundheit Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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