Zusammensetzung und Verfahren zum Nassabziehen von Antireflexivem Opfermaterial
EP1551936
Art A1
13. Juli 2005
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1551936
- Aktenzeichen
- EP03765600
- Anmeldetag
- 16. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/311G03F7/42C09K13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hyden, Martin Douglas
Clamart, Frankreich
672
Patente gesamt
31
Fachgebiete
33
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
White, Nicholas John, Dr
NoneHarrogate