Zusammensetzung und Verfahren zum Entfernen von Ätzresten
EP1552342
Art B1
25. April 2012
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC., Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1552342
- Aktenzeichen
- EP03754886
- Anmeldetag
- 26. September 2003
- Veröffentlichung
- 25. April 2012
- Erteilung
- 25. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/42H01L21/311H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Air Products and Chemicals, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
906 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Zanoli, Enrico
Milano, Italien
562
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte