Verfahren zur Geräteanpassung und Fehlerbeseitigung in einem Plasmabearbeitungssystem
EP1552543
Art B1
5. November 2008
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1552543
- Aktenzeichen
- EP03770493
- Anmeldetag
- 26. September 2003
- Veröffentlichung
- 5. November 2008
- Erteilung
- 5. November 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Lam Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Falk, Urs
Steinhausen, Schweiz
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25
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