Verfahren zur Herstellung magnetron-sputterbeschichteter Substrate und Anlage hierfür

EP1552544 Art B1 21. Dezember 2011

Anmelder: Oerlikon Trading AG, Trübbach, OC Oerlikon Balzers AG, Unaxis Balzers Aktiengesellschaft 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1552544
Aktenzeichen
EP03747792
Anmeldetag
15. Oktober 2003
Veröffentlichung
21. Dezember 2011
Erteilung
21. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34C23C14/35C23C14/54
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Oerlikon Trading AG, Trübbach
OC Oerlikon Balzers AG
Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
Land
🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Troesch, Jacques J Zumikon, Schweiz
82
Patente gesamt
11
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Verfahrens- & Trenntechnik Medizintechnik & Gesundheit
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