Nanometrischer mechanischer Oszillator

EP1553048 Art A1 13. Juli 2005

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1553048
Aktenzeichen
EP05005160
Anmeldetag
11. Juli 2000
Veröffentlichung
13. Juli 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00B81C1/00G01P15/00G11B9/14H01L29/84G12B21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
Japan Science and Technology Agency
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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