Verfahren zur Ablieferung von Substrat an eine Filmbildungseinrichtung für ein Scheibenförmiges Substrat, Substratablieferungsmechanismus und Substrathalter für das Verfahren und Verfahren zur Herstellung eines Scheibenartigen Aufzeichnungsmediums mit dem Verfahren
EP1553578
Art A1
13. Juli 2005
Anmelder: TDK Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1553578
- Aktenzeichen
- EP03733430
- Anmeldetag
- 16. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G11B7/26C23C14/04C23C14/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TDK Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
TDK Corporation
TDK Corporation ist ein japanischer Hersteller elektronischer Bauteile, bekannt für Kondensatoren, Sensoren, Batterien und Magnetwerkstoffe.
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