Nitridierte STI-Oxidtrennschicht zum reduzierten Einfluss von Ecken auf die Leistung von vertikalen Vorrichtungen

EP1553631 Art A3 7. Oktober 2009

Anmelder: International Business Machines Corporation, Infineon Technologies AG 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1553631
Aktenzeichen
EP05250031
Anmeldetag
6. Januar 2005
Veröffentlichung
7. Oktober 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/108H01L21/762H01L21/8242
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
International Business Machines Corporation
Infineon Technologies AG
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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