Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen

EP1554413 Art B1 24. Juli 2013

Anmelder: TEL Solar AG, Oerlikon Solar AG, Trübbach, Oerlikon Trading AG, Trübbach, no data available, (deleted), Unaxis Balzers Limited 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1554413
Aktenzeichen
EP03750232
Anmeldetag
22. Oktober 2003
Veröffentlichung
24. Juli 2013
Erteilung
24. Juli 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/02H01L31/18C23C16/44H01L21/22H01L31/0288H01L31/075H01L31/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
TEL Solar AG
Oerlikon Solar AG, Trübbach
Oerlikon Trading AG, Trübbach
no data available
(deleted)
Unaxis Balzers Limited
Land
🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Gresset, Jean La Chaux-de-Fonds, Schweiz
239
Patente gesamt
29
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Medizintechnik & Gesundheit Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
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