Methode zur Herstellung eines Mikroresonators mit ultrahoher Güte aus Quarzglas auf Siliziumsubstrat

EP1554618 Art B1 12. September 2007

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY, California Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1554618
Aktenzeichen
EP03816213
Anmeldetag
2. Oktober 2003
Veröffentlichung
12. September 2007
Erteilung
12. September 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G02B6/293
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
California Institute of Technology
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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