Verfahren zur Herstellung eines Stufenprofils aus einer Schichtfolge

EP1554753 Art B1 26. April 2006

Anmelder: ABB Schweiz AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1554753
Aktenzeichen: EP03750229
Anmeldetag: 17. Oktober 2003
Veröffentlichung: 26. April 2006
Erteilung: 26. April 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L23/485

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ABB Schweiz AG
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 ABB

Schweizerisch-schwedischer Technologiekonzern mit Sitz in Zürich. Fokussiert auf Elektrifizierung, Robotik, industrielle Automatisierung sowie Antriebstechnik für Industrie- und Energiekunden.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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