Verdampfungseinrichtung für sublimierende Materialien

EP1555334 Art B1 7. Mai 2008

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1555334
Aktenzeichen
EP04004928
Anmeldetag
3. März 2004
Veröffentlichung
7. Mai 2008
Erteilung
7. Mai 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/24C23C14/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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