Verfahren zur Herstellung eines Sputtertargets und Sputtertarget

EP1556526 Art B1 11. März 2009

Anmelder: CABOT CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1556526
Aktenzeichen
EP03776474
Anmeldetag
20. Oktober 2003
Veröffentlichung
11. März 2009
Erteilung
11. März 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CABOT CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot

Cabot ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien, unter anderem Industrieruß und Silica-Produkten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Kunststoff- und Halbleitertechnik, ergänzt durch anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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