Elektronenstrahlbelichtungssystem

EP1556881 Art B1 28. August 2013

Anmelder: MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1556881
Aktenzeichen: EP03809889
Anmeldetag: 30. Oktober 2003
Veröffentlichung: 28. August 2013
Erteilung: 28. August 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/302H01J37/317H01J37/304G03F7/20H01J37/06H01J3/02B82Y10/00B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

Nederlof, Etienne C Den Haag, Niederlande

63

Patente gesamt

19

Fachgebiete

7

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Kunststoff- & Polymertechnik Organische Chemie Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit

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