Verfahren zur Bildung einer Seichten Grabenisolationsstruktur in einem Halbleiterbauelement

EP1556891 Art A1 27. Juli 2005

Anmelder: ATMEL CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1556891
Aktenzeichen
EP03749561
Anmeldetag
9. September 2003
Veröffentlichung
27. Juli 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/76H01L21/302H01L21/461H01L21/8247
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ATMEL CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Atmel

Atmel war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller für Mikrocontroller und wurde 2016 von Microchip Technology übernommen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Elektronik. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2021.

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