Verwendung von Flüssigkeiten für Immersionslithographie und Strukturierungsverfahren
EP1557721
Art B1
6. August 2014
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1557721
- Aktenzeichen
- EP05000989
- Anmeldetag
- 19. Januar 2005
- Veröffentlichung
- 6. August 2014
- Erteilung
- 6. August 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Teipel, Susanne, Dr
München, Deutschland
146
Patente gesamt
22
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft
Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft · München
-
Westendorp Sommer
Westendorp Sommer · München
-
Schwabe - Sandmair - Marx
Schwabe - Sandmair - Marx · München