Verwendung von Flüssigkeiten für Immersionslithographie und Strukturierungsverfahren
EP1557721
Art B1
6. August 2014
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1557721
- Aktenzeichen
- EP05000989
- Anmeldetag
- 19. Januar 2005
- Veröffentlichung
- 6. August 2014
- Erteilung
- 6. August 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
1.683 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Teipel, Susanne, Dr
München, Deutschland
174
Patente gesamt
22
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft
Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft · München
-
Westendorp Sommer
Westendorp Sommer · München
-
Schwabe - Sandmair - Marx
Schwabe - Sandmair - Marx · München