Dünnfilmausbildungsvorrichtung und Dünnfilmausbildungsverfahren und Dünnfilmausbildungssystem
EP1557871
Art A1
27. Juli 2005
Anmelder: IHI Corporation, Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1557871
- Aktenzeichen
- EP03769903
- Anmeldetag
- 15. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205C23C16/50H01L31/04H05H1/46C23C16/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IHI Corporation
Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
IHI Corporation
Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.
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Vertreten von
Lamb, Martin John Carstairs
London, Großbritannien
1.633
Patente gesamt
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